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活性試驗(yàn)水蒸氣發(fā)生器分為小試裝置和大中試裝置。小試裝置主要作為實(shí)驗(yàn)室設(shè)備使用，其液體水流量達(dá)10-80g/min。大中試裝置流量大，主要應(yīng)用于量產(chǎn)，其液體水流量達(dá)12-48kg/h。

實(shí)驗(yàn)室蒸汽發(fā)生器通過(guò)精密計(jì)量泵控制進(jìn)液量，經(jīng)相變汽化模塊將液分散成液膜再換熱轉(zhuǎn)化成水蒸氣，穩(wěn)定地將一路液體蒸發(fā)。自主研發(fā)的相變汽化模塊優(yōu)勢(shì)：蒸發(fā)混合穩(wěn)定并有非常寬的蒸發(fā)范圍。

全自動(dòng)水蒸氣發(fā)生器 溫度/流量穩(wěn)定可調(diào)整機(jī)厚度僅25cm，在保持大流量輸出的同時(shí)，實(shí)現(xiàn)優(yōu)異的集成適配性與散熱表現(xiàn)，為科研實(shí)驗(yàn)、精密制造、新材料研發(fā)等領(lǐng)域提供更緊湊、穩(wěn)定、高效的蒸汽方案。

多孔碳用水蒸氣發(fā)生器通過(guò)精密計(jì)量泵精準(zhǔn)控制進(jìn)液量，通過(guò)精密相變汽化模塊將液體先分散成液膜再進(jìn)行換熱轉(zhuǎn)化成水蒸氣，水蒸氣通過(guò)高溫耐腐蝕預(yù)熱器將水蒸氣的溫度升至100℃-800℃，可以穩(wěn)定地將一路液體蒸發(fā)。

氣氛爐水蒸氣發(fā)生器出口溫度可調(diào)節(jié)范圍廣，100~1000℃，蒸氣流量精度高，可達(dá)±1%，蒸氣氣態(tài)流量可從1mL/min~1000L/min可選，液態(tài)水蒸發(fā)量可從0.5uL/min~1000mL/min可選。

半導(dǎo)體行業(yè)專用水蒸氣發(fā)生器通過(guò)精密計(jì)量泵控制進(jìn)液量，經(jīng)相變汽化模塊將液分散成液膜再換熱轉(zhuǎn)化成水蒸氣，穩(wěn)定地將一路液體蒸發(fā)。自主研發(fā)的相變汽化模塊優(yōu)勢(shì)：蒸發(fā)混合穩(wěn)定并有非常寬的蒸發(fā)范圍。